[发明专利]一种高居里温度的铁锆非晶多层膜及其制备方法有效
申请号: | 201710153336.5 | 申请日: | 2017-03-15 |
公开(公告)号: | CN108624852B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 孙铭;吴斌;冯涛;彭国 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C22C45/02;C22C45/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 邹伟红;朱显国 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种高居里温度的铁锆非晶多层膜及其制备方法。非晶多层膜为Fe |
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搜索关键词: | 一种 居里 温度 铁锆非晶 多层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种高居里温度的铁锆非晶多层膜,其特征在于,其成分为Fe75Zr25/Cu64Zr36,每一单层膜的厚度为10nm,层数为50层。
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