[发明专利]一种高居里温度的铁锆非晶多层膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710153336.5 申请日: 2017-03-15
公开(公告)号: CN108624852B 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 孙铭;吴斌;冯涛;彭国 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/16;C22C45/02;C22C45/00
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 邹伟红;朱显国
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高居里温度的铁锆非晶多层膜及其制备方法。非晶多层膜为Fe75Zr25/Cu64Zr36材料,单层厚度为10nm,共50层。本发明所述非晶合金在兼具有FeZr单层薄膜材料优点的同时,还具有较高的居里温度,高于室温300K,是目前FeZr非晶体系达到的最好性能,可实现FeZr体系的广泛应用。
搜索关键词: 一种 居里 温度 铁锆非晶 多层 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种高居里温度的铁锆非晶多层膜,其特征在于,其成分为Fe75Zr25/Cu64Zr36,每一单层膜的厚度为10nm,层数为50层。
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