[发明专利]基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器有效
| 申请号： | 201710144004.0 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN107063438B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 丑修建;穆继亮;徐方良;石树正;高翔;张辉;何剑;耿文平;侯晓娟;薛晨阳;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司 11407 | 代理人： | 彭丽芳 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜，压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本发明MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电效应 mems 三维 矢量 水听器 | ||
【主权项】：
基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，其特征在于，包括检测来自水平方向声信号的同振柱体振子模块以及检测来自竖直方向声信号的同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、第一压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有第一压电薄膜，同时在第一压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、第二压电薄膜以及上电极、下电极；球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，环形连接体通过横梁连接在第二框型基座的中心处，同时横梁的外侧生长第二压电薄膜，第二压电薄膜上下表面溅射有金属作为上电极和下电极，且每根横梁的上电极、下电极相互独立；所述第一框型基座和第二框型基座一体成型。
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