[发明专利]被加工物的切削方法

摘要

提供被加工物的切削方法，高精度地实施切削位置的对位。一种切削装置的切削方法，该切削装置具有：卡盘工作台；切削单元，其利用固定在主轴的切削刀具对被加工物进行切削；移动单元，其使卡盘工作台和切削单元在垂直的X、Y方向上相对移动；拍摄单元，其具有形成有基准线的光学系统；和控制单元，该切削方法具有如下的步骤：修整步骤，按照第1主轴转速对切削刀具进行修整；槽形成步骤，在修整步骤之前或之后按照第2主轴转速对修整板进行1条线以上的切削而形成对位用槽；基准距离登记步骤，对对位用槽与基准线的距离进行登记；切削位置设定步骤，使基准线与被加工物的分割预定线对齐而设定切削位置；和切削步骤，按照第2主轴转速切削被加工物。

主权项

一种被加工物的切削方法，该切削方法使用了切削装置，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；切削单元，其利用固定在主轴的前端的切削刀具对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行切削；移动单元，其使该卡盘工作台和该切削单元在作为主轴的轴向的Y方向和与该Y方向垂直的X方向上相对移动；拍摄单元，其具有光学系统而对被加工物进行拍摄，该光学系统在X方向上形成有用于该切削刀具对位的基准线；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，其中，该被加工物的切削方法具有如下的步骤：修整步骤，按照作为修整条件而预先选定的第1主轴转速对保持在该卡盘工作台上的修整板进行切削，对该切削刀具进行修整；槽形成步骤，在该修整步骤之前或之后，按照作为切削被加工物的条件而预先选定的第2主轴转速，利用该切削刀具对保持在该卡盘工作台上的修整板进行1条线以上的切削而形成对位用槽；基准距离登记步骤，使该基准线与该对位用槽对齐，对该对位用槽与该基准线的距离进行登记；切削位置设定步骤，在该基准距离登记步骤之后，将被加工物保持在该卡盘工作台上，使该基准线与设定在该被加工物上的分割预定线对齐，并在Y方向上校正已登记的该距离而设定应进行切削的位置；以及切削步骤，在该切削位置设定步骤之后，按照该第2主轴转速沿着该分割预定线对被加工物进行切削。