[发明专利]一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法有效
| 申请号： | 201710136413.6 | 申请日： | 2017-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN107012425B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 蒋洪川;雷康;王洪敏;赵晓辉;蒋书文;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 51203 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于传感器技术领域，提供一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法，用以克服现有技术中由于绝缘层与敏感功能层热膨胀系数失配导致功能层高温附着力差的难题；本发明复合绝缘层由自下而上依次重叠的热生长Al | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 传感 器用 复合 绝缘 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜传感器用复合绝缘层，由自下而上依次重叠的热生长Al
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710136413.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种护角机
- 下一篇：一种表面增强基底的制备与标定性能的方法
- 同类专利
- 专利分类
