[发明专利]一种基于EOM和PZT的光学共振腔的锁定装置

摘要

本发明提供了一种基于EOM和PZT的光学共振腔的锁定装置，在共振腔前光路上放置EOM1，通过EOM1给入射激光相位调制正弦信号，在共振腔内放入EOM2，并调节共振腔模式匹配，将入射腔镜的反射光强信号分成两路，分别和正弦信号混频后低通滤波，得到两路鉴频误差信号；将一路误差信号接入PID1，调节安装在共振腔镜上的压电陶瓷PZT，将共振腔锁定在激光输出透射峰上，将另一路误差信号接入PID2，将初步锁定的共振腔进一步优化锁定。本发明先用响应速度慢、锁定带宽较小的PZT将共振腔锁定，再用响应速度快、锁定带宽大的共振腔内EOM2优化锁定效果，共振腔的锁定带宽得到提高，输出光强的波动更小，共振腔的稳定性更高。

主权项

1.一种基于EOM和PZT的光学共振腔的锁定装置，包括光电探测器、电光相位调制器、PID控制器、混频器、低通滤波器和耦合透镜，其特征在于：信号发生器为一号电光相位调制器提供正弦信号；所述的一号电光相位调制器放置在激光注入光学共振腔的腔前光路上，给入射激光相位调制正弦信号；所述的光学共振腔内放置二号电光相位调制器；相位调制后的入射激光经过一号耦合透镜调节共振腔模式匹配，入射腔镜的反射光经过二号耦合透镜照射到光电探测器；所述的光电探测器提取入射腔镜的反射信号，分成两路，分别利用混频器和正弦信号混频，然后再分别经过低通滤波器，共得到两路鉴频误差信号；一路鉴频误差信号输入一号PID控制器，一号PID控制器输出的控制信号通过高压放大器调节安装在共振腔镜上的压电陶瓷PZT，将光学共振腔锁定在激光输出透射峰上；另一路鉴频误差信号接入二号PID控制器，二号PID控制器输出的控制信号连接二号电光相位调制器，继续将共振腔锁定在激光输出透射峰上。