[发明专利]PERC太阳能电池的制备方法及其PERC太阳能电池

摘要

本发明公开了一种PERC太阳能电池的制备方法及其PERC太阳能电池，包括在P型硅的正面形成绒面；在正面进行扩散，形成N型发射极；去除扩散过程中形成的磷硅玻璃和周边PN结，对背面抛光；在正面沉积氧化硅膜并退火；在正面沉积氮化硅膜，再在背面依次沉积氧化铝膜和氮化硅膜；或者在背面依次沉积氧化铝膜和氮化硅膜，再在正面沉积氮化硅膜；在背面开设开槽，开槽贯通背面氮化硅膜和氧化铝膜；在背面印刷背电极浆料并烘干；在背面印刷铝浆并烘干；在正面印刷正电极浆料；高温烧结，形成背银电极、全铝背场和正银电极，全铝背场位于开槽内部分与P型硅相连；抗LID退火。本发明可提高电池的开路电压和短路电流，提升电池的光电转换效率。

主权项

一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于具体包括以下步骤：⑴在P型硅的正面形成绒面；⑵在由步骤⑴所得产品的正面进行扩散，形成N型发射极；⑶去除由步骤⑵所得产品在扩散过程中形成的磷硅玻璃和周边PN结；⑷对由步骤⑶所得产品的背面进行抛光；⑸在由步骤⑷所得产品的正面上沉积氧化硅膜并退火；⑹在由步骤⑸所得产品的正面沉积氮化硅膜，即为正面氮化硅膜，再在背面依次沉积氧化铝膜和氮化硅膜，所沉积的氮化硅膜即为背面氮化硅膜；或者在由步骤⑸所得产品的背面依次沉积氧化铝膜和氮化硅膜，所沉积的氮化硅膜即为背面氮化硅膜，再在正面沉积氮化硅膜，即为正面氮化硅膜；⑺在由步骤⑹所得产品的背面上开设开槽，开槽贯通背面氮化硅膜和氧化铝膜；⑻在由步骤⑺所得产品的背面印刷背电极浆料并烘干；⑼在由步骤⑻所得产品的背面印刷铝浆并烘干；⑽在由步骤⑼所得产品的正面印刷正电极浆料；⑾对由步骤⑽所得产品进行高温烧结，形成背银电极、全铝背场和正银电极，全铝背场位于开槽内的部分与P型硅相连；⑿对由步骤⑾所得产品进行抗LID退火即得。