[发明专利]压电振动片及压电振动器有效
申请号: | 201710099544.1 | 申请日: | 2017-02-23 |
公开(公告)号: | CN107104652B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 市村直也 | 申请(专利权)人: | 精工电子水晶科技股份有限公司 |
主分类号: | H03H9/05 | 分类号: | H03H9/05;H03H9/10;H03H9/13;H03H9/17 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 叶培勇;姜甜 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明题为压电振动片及压电振动器。更大地确保压电振动片的有助于振动的电极部分的面积。压电振动片为音叉形的压电振动片,从基部延伸设置有一对振动臂部,在振动臂部的长边方向,在其主面(背面和表面)形成有一定宽度的槽部。在振动臂部的侧面和主面、槽部内形成有2个系统的激振电极。在将形成在振动臂部的侧面和槽部的侧面的堤部的宽度设为W0、形成在振动臂部的主面上的激振电极与激振电极的间隔设为电极分割宽度W1的情况下,以使电极分割宽度W1成为1μm<W1<3μm的范围、W0>W1的方式形成。通过使电极分割宽度窄于3μm,能够加宽形成在振动臂部的主面上(堤部上)的激振电极的宽度。由此,能够增大有助于振动的电极部分的面积,并能使压电效应优良。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动 振动器 | ||
【主权项】:
一种压电振动片,其特征在于,具备:基部;从所述基部并排延伸设置的一对振动臂部;配置在所述振动臂部的外周面的第1激振电极;以及配置在所述振动臂部的外周面的第2激振电极,在所述振动臂部的对置的两个主面形成的所述第1激振电极与所述第2激振电极的电极分割宽度W1为1μm<W1<3μm。
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