[发明专利]超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备有效

专利信息
申请号: 201710088584.6 申请日: 2013-02-17
公开(公告)号: CN106964531B 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 中村友亮;鹤野次郎;清赖摄内 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B06B1/06 分类号: B06B1/06;A61B8/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 田喜庆;吴孟秋
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供了超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备,该超声波换能器元件芯片具备:隔壁部,位于基部的第一面,隔开多个开口;可挠膜,覆盖多个所述开口;以及超声波换能器元件,位于覆盖所述可挠膜的所述开口的区域,所述隔壁部的厚度小于所述隔壁部的高度。
搜索关键词: 超声波 换能器 元件 芯片 探测器 以及 电子设备
【主权项】:
1.一种超声波换能器元件芯片,其特征在于,具备:基板,具有由隔壁部隔开的多个开口;可挠膜,覆盖多个所述开口;超声波换能器元件,位于所述可挠膜的覆盖所述开口的区域;以及增强板,以覆盖多个所述开口的方式固定于所述基板,所述隔壁部的厚度小于所述隔壁部的高度。
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