[发明专利]稀有气体干燥提纯装置及方法在审
| 申请号： | 201710061685.4 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN106731539A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李大明;段广厚 | 申请（专利权）人： | 无锡联合超滤净化设备科技有限公司;西安联合超滤净化设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/26 | 分类号： | B01D53/26;B01D53/22 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 倪金荣 |
| 地址： | 214092 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种稀有气体干燥提纯装置及方法，该装置包括依次连接的气瓶组、气液分离模块、干燥净化模块、稀有气体检漏模块和用于对稀有气体进行高度提纯的稀有气体提纯模块，稀有气体提纯模块的进气口与干燥净化模块的纯化气出口连通，稀有气体提纯模块的出气口以及所述稀有气体检漏模块的出气口分别与气液分离模块的进气口气瓶组连通；该方法主要包括预处理、吸附干燥和再生、检漏及提纯的过程。本发明可以有效提高稀有气体的纯度，确保使用过程中稀有气体的纯度≥98％，同时本发明能提高稀有气体使用效率5倍以上，还能提高设备使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 稀有气体 干燥 提纯 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种稀有气体干燥提纯装置，包括依次连接的气瓶组、气液分离模块、干燥净化模块和稀有气体检漏模块，其特征在于：还包括用于对稀有气体进行高度提纯的稀有气体提纯模块，所述稀有气体提纯模块的进气口与干燥净化模块的纯化气出口连通，所述稀有气体提纯模块的出气口以及所述稀有气体检漏模块的出气口分别与气液分离模块的进气口气瓶组连通；所述气体提纯模块用于将稀有气体的纯度提高至96‑98％。
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