[发明专利]费米能级可调的PIN结构石墨烯光探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及石墨烯光探测器领域，本发明器件从下到上依次为衬底、金属层、绝缘层、P掺杂石墨烯层、介质层及N掺杂石墨烯层，在金属层加上栅极电压；绝缘层上具有源极电极、漏极电极、第一电极，其中源极电极和漏极电极分别位于第一石墨烯层的两侧，且均与第一石墨烯层相连接；第一电极和第二电极分别位于第二石墨烯层的两侧，且第一电极与第二石墨烯层相连接；P掺杂石墨烯层、介质层及N掺杂石墨烯层构成PIN结构；第一石墨烯层、源极电极、漏极电极、绝缘层及金属层构成一个场效应晶体管。本发明利用石墨烯材料做成场效应晶体管结构与PIN结构相复合的探测器，实现紫外‑到红外宽波段高响应快速探测。

主权项

1.一种费米能级可调的PIN结构石墨烯光探测器，其特征在于，从下到上依次为衬底、金属层、绝缘层、第一石墨烯层、介质层及第二石墨烯层；绝缘层上具有源极电极、漏极电极及第一电极，其中源极电极和漏极电极均与第一石墨烯层相连接，第一电极与第二石墨烯层相连接；其中第一石墨烯层和第二石墨烯层中任意一个为P掺杂，另一个为N掺杂，第一石墨烯层、介质层及第二石墨烯层构成PIN结构；第一石墨烯层、源极电极、漏极电极、绝缘层及金属层构成一个场效应晶体管。