[发明专利]偏振复用相位调制型激光自混合二维干涉仪及其测量方法

摘要

本发明公开了偏振复用相位调制型激光自混合二维干涉仪及其测量方法，二维干涉仪包括：输出圆偏振光的双频激光器，偏振分光棱镜，放置在o偏振态光轴上的普通分光棱镜、电光晶体调制器、光线密度滤波器、待测目标，放置在e偏振态光轴向电光晶体调制器、光线密度滤波器、另一个待测目标，以及信号采集和相位计算系统，信号采集和相位计算系统根据采集的光强信号进行谐波分析和相位解调得出被测目标相位和位移。因两个电光相位调制的频率截然不同，它可以有效避免频谱混叠现象；由于两个偏振光均为线偏振光，激光散斑效应小，相移技术使得解调结果的分辨率达纳米级别。

主权项

1.偏振复用相位调制型激光自混合二维干涉仪，其特征在于，包括：输出圆偏振光的双纵模激光器，将圆偏振光分解为两个正交偏振的线偏振光的偏振分光棱镜，依次放置在第一光路上的第一电光相位调制器、第一光线密度滤波器和第一待测目标，依次放置在第二光路上的第二电光相位调制器、第二光线密度滤波器和第二待测目标，位于第一光路上第一电光相位调制器和第一光线密度滤波器之间或第二光路上第二电光相位调制器和第二光线密度滤波器之间的普通分光棱镜，以及用来探测普通分光棱镜折射出的光强信号并输出被探测信号波形的光电探测器；所述第一电光相位调制器和第二电光相位调制器的调制频率不同；所述光电探测器与信号采集和相位计算系统电连接，所述信号采集和相位计算系统用于根据采集的光强信号进行谐波分析和相位解调得出被测目标相位，进而得到位移。