[发明专利]一种双面反射镜平行度测量装置及其测量方法在审
| 申请号： | 201710010977.5 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN106840044A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 王国名;劳达宝;周维虎;崔成君;张滋黎;董登峰;袁江;纪荣祎;石俊凯;王岩庆;范百兴;程智;郭晓晓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司11403 | 代理人： | 王安娜,李翔 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面反射镜平行度测量装置及其测量方法，包括自准直仪、第一单面反射镜和第二单面反射镜，所述自准直仪发出的光依次通过第一单面反射镜、第二单面反射镜，并经第二单面反射镜将光折返至所述自准直仪，所述第一单面反射镜、第二单面反射镜使自准直仪的出射光轴与折返光轴平行。本发明通过两个单面平面反射镜进行光路折转，实现双面反射镜中的一面自准直，再通过自准直仪测量双面反射镜的另一面的失准角度值，从而确定双面反射镜的平行度误差。由此可见，本发明可以根据需求随时测量双面反射镜的平行度误差，而且所测的平行度误差包含镀膜对平行度的影响，消除膜层误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 反射 平行 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种双面反射镜平行度测量装置，其特征在于，包括自准直仪、第一单面反射镜和第二单面反射镜，所述自准直仪发出的光依次通过第一单面反射镜、第二单面反射镜，并经第二单面反射镜将光折返至所述自准直仪，所述第一单面反射镜、第二单面反射镜使自准直仪的出射光轴与折返光轴平行。
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