[发明专利]活性气体生成装置

摘要

本发明的目的在于提供能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。本发明通过在活性气体生成用电极组(301)的高压侧电极构成部(1A)与接地侧电极构成部(2A)之间形成的放电空间(66)的放电，将供给的原料气体活性化而生成活性气体。罩(31、32)的组合构造具有原料气体供给路径用的原料气体流路(31h、32h)，该原料气体流路(31h、32h)将放电空间(66)与交流电压施加空间(R31)完全分离，且与交流电压施加空间(R31)独立，将从外部供给的原料气体引导至放电空间(66)。形成在金属框体(34)与罩(31、32)及电极构成部设置台(33)之间的框体接触空间(R34)与交流电压施加空间(R31)、放电空间(66)分别完全分离。

主权项

1.一种活性气体生成装置，其特征在于，具备：活性气体生成用电极组(301)，具有第1电极构成部(1A)和设置在所述第1电极构成部的下方的第2电极构成部(2A)；交流电源部(5)，以使所述第1电极构成部成为高电压的方式对所述第1及第2电极构成部施加交流电压，并且，通过由所述交流电源部(5)施加所述交流电压，从而在所述第1及第2电极构成部之间形成放电空间，从设置于所述第2电极构成部的气体喷出口(55)喷出使供给到所述放电空间的原料气体活性化而得到的活性气体；第1辅助部件(31、32、41、42)，设置成在与所述第1电极构成部之间与所述放电空间分离地形成交流电压施加空间(R31、R41)；第2辅助部件(33、43)，由非金属材料构成，从所述第2电极构成部侧支承所述活性气体生成用电极组，并且，所述第2辅助部件具有供从所述气体喷出口喷出的活性气体流过的辅助部件用气体排出口(33i、33k、43i、43k)；以及金属制的框体(34、44)，收容所述活性气体生成用电极组及所述第2辅助部件的全部、以及所述第1辅助部件的至少一部分，并且，所述框体具有将流过辅助部件用气体排出口的活性气体向外部排出的框体用气体排出口(34k、44k)，在所述框体与所述第1及第2辅助部件之间设置有与所述放电空间分离的框体接触空间(R34、R44)；所述第1辅助部件以与所述交流电压施加空间及所述框体接触空间分别独立的方式具有将从外部供给的原料气体引导至所述放电空间的原料气体供给路径用的原料气体流路(31h、32h、41h、42h)，由此，将所述放电空间与所述交流电压施加空间之间的气体的流动分离，而且将所述放电空间与所述框体接触空间之间的气体的流动分离。