[发明专利]硬质被膜和硬质被膜被覆构件

摘要

在工具母材(30)的表面所被覆的硬质被膜(24)是采用物理蒸镀法将A层(34)、B层(36)和将具有与A层(34)或B层(36)相同的组成的纳米层A层(37)或纳米层B层(38)和C层(39)以纳米级的厚度交替层交替地层叠而成的纳米层交替层(40)交替地层叠、以成为0.5～20μm的膜厚的方式构成的，A层(34)的组成式为(AlaTibCrcαd)N，具有0.5～1000nm的厚度，B层(36)的组成式为(AleTifCrgβh)CXN1‑X，具有0.5～1000nm的厚度，纳米层交替层(40)具有1～1000nm的厚度，C层(39)的组成式为[AliCrj(SiC)kγl]CYN1‑Y，纳米层A层(37)或纳米层B层(38)和C层(39)具有0.5～500nm的厚度。

主权项

1.硬质被膜，是在母材的表面所被覆的硬质被膜，其特征在于，所述硬质被膜采用物理蒸镀法将A层、B层和纳米层交替层交替地层叠，以成为0.5～20μm的总膜厚的方式构成，所述A层是组成式为(Al_aTi_bCr_cα_d)N、α为选自C、B、Si、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的1种以上的元素、原子比a、b、c、d分别满足0.10≤a≤0.85、0.02≤b≤0.70、0.03≤c≤0.65、0≤d≤0.10和a+b+c+d＝1的AlTiCr氮化物，具有0.5～1000nm的厚度，所述B层是组成式为(Al_eTi_fCr_gβ_h)C_XN_1‑X、β为选自B、Si、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的1种以上的元素、原子比e、f、g、h和X分别满足0.10≤e≤0.85、0.02≤f≤0.70、0.03≤g≤0.65、0≤h≤0.10、e+f+g+h＝1和0≤X≤0.6的AlTiCr氮化物或AlTiCr碳氮化物，具有0.5～1000nm的厚度，所述纳米层交替层是将具有与所述A层或所述B层相同的组成的纳米层A层或纳米层B层与C层交替地层叠而成的，具有1～1000nm的厚度，所述纳米层A层或纳米层B层分别具有0.5～500nm的厚度，所述C层是组成式为[Al_iCr_j(SiC)_kγ_l]C_YN_1‑Y、γ为选自B、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的1种以上的元素、原子比i、j、k、l和Y分别满足0.20≤i≤0.85、0.05≤j≤0.50、0.01≤k≤0.45、0≤l≤0.10、i+j+k+l＝1和0≤Y≤0.6的AlCr(SiC)氮化物或AlCr(SiC)碳氮化物，具有0.5～500nm的厚度。