[发明专利]用于利用结构化的光片照射检查试样的方法和设备有效
申请号: | 201680067588.X | 申请日: | 2016-10-10 |
公开(公告)号: | CN108292034B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | F·法尔巴赫;W·克内贝尔 | 申请(专利权)人: | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 |
主分类号: | G02B21/10 | 分类号: | G02B21/10;G02B21/16;G02B21/36;G02B27/58 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;王博 |
地址: | 德国韦*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于用显微镜检查试样(24)的方法和设备。所述方法包括:利用光源产生照射光束(2)的步骤、利用分裂器件(1)将照射光束(2)在空间上分裂成至少两个子照射光束(3、4)的步骤、通过一个对于两子照射光束(3、4)共用的照射透镜(7)引导子照射光束(3、4)的步骤、在子照射光束(3、4)已经穿过照射透镜(7)之后利用至少一个转向机构(27)使所述子照射光束之中的至少一个子照射光束转向,使得子照射光束(3、4)在一个照射平面(11)中相互干涉,从而在照射平面(11)产生一个照射图案(12)的步骤,和产生由照射图案(12)照射的试样区域的图像的步骤,其中,从试样区域出来的检测光通过检测透镜(8)到达位置分辨的检测器。 | ||
搜索关键词: | 用于 利用 结构 照射 检查 试样 方法 设备 | ||
【主权项】:
1.用于检查试样(24)的方法,尤其是在光片显微镜中,其特征在于如下步骤:a.利用光源产生照射光束(2),b.利用分裂器件(1)将照射光束(2)在空间上分裂成至少两个子照射光束(3、4),c.通过一个对于两子照射光束(3、4)共用的照射透镜(7)引导子照射光束(3、4),d.在子照射光束(3、4)已经穿过照射透镜(7)之后利用至少一个转向机构(27)使所述子照射光束之中的至少一个子照射光束转向,使得子照射光束(3、4)在一个照射平面(11)中相互干涉,从而在照射平面(11)产生一个照射图案(12),和e.产生由照射图案(12)照射的试样区域的图像,其中,从试样区域出来的检测光通过检测透镜(8)到达位置分辨的检测器。
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