[发明专利]打印系统组件和方法

摘要

用于打印基板的打印系统可以容纳在气体封装件中，其中，可以将在所述封装件内的环境维持为受控打印环境。受控环境可以包括：对在所述气体封装件内的气体环境的类型的控制、对在所述封装件内的颗粒物质的大小和水平的控制、对在所述封装件内的温度的控制、以及对照明的控制。各种实施例可以包括使用线性空气轴承技术的X轴和Y轴运动系统以及作为基板设备的超声波浮动台，其构造成显著降低在所述气体封装件内的过量热负荷。此外，使用线性空气轴承运动系统的X轴和Y轴运动系统以及作为基板设备的超声波浮动台是低颗粒生成装置，与过滤和循环系统结合，可以提供低颗粒打印系统环境。

主权项

1.一种打印系统，包括：限定内部的气体封装件；以及打印系统，所述打印系统容纳在气体封装组件的所述内部中，所述打印系统包括：打印头组件，所述打印头组件包括至少一个打印头；基板支撑设备，用于支撑基板，其中，所述基板支撑设备包括超声波浮动台；以及运动系统，用于相对于所述打印头组件来定位所述基板，所述运动系统包括：Y轴线性空气轴承运动系统，所述Y轴线性空气轴承运动系统构造有用于夹持所述基板的基板夹持器组件，和用于使所述基板的定向与行进Y轴维持平行的夹持器运动控制系统；以及X轴线性空气轴承运动系统。