[发明专利]MEMS换能器有效
| 申请号： | 201680007986.2 | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN107211223B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | S·L·卡吉尔;C·R·詹金斯;E·J·博伊德;R·I·拉明 | 申请（专利权）人： | 思睿逻辑国际半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;关丽丽 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请描述了具有柔性膜的MEMS换能器，其寻求减轻和/或重分布膜层内的应力。描述了具有第一/活性区域和第二/非活性区域的膜。 | ||
| 搜索关键词： | mems 换能器 | ||
【主权项】：
一种MEMS换能器，包括相对于一个基底被支撑的一个膜，所述膜包括一个中心区域和多个应力分布臂，所述多个应力分布臂从所述中心区域横向延伸。
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