[发明专利]用于间隙检测的智能止动器和控制机制有效

专利信息
申请号: 201680005492.0 申请日: 2016-01-20
公开(公告)号: CN107112268B 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: S·坎德沃尔;G·K·翁;K·格里芬;J·约德伏斯基 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;C23C16/52;C23C16/455
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 侯颖媖
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了用于使用止动器、致动器和发射器/检测器来测量两个部件之间的接近度的设备与方法,所述发射器/检测器使光通过所述致动器中的通路。所述通路提供对光的衰减,所述衰减随部件之间的间隙改变而改变,从而允许对间隙的测量与控制。还描述了使用设备来确定部件的拓扑的方法。
搜索关键词: 用于 间隙 检测 智能 止动器 控制 机制
【主权项】:
一种设备,包括:止动器,所述止动器具有具备顶部、底部和开口的主体,所述顶部具备顶端,所述底部具备底端,并且所述开口从所述顶端延伸至所述底端;致动器,所述致动器具有具备上部和下部的主体,所述上部具备上端,所述下部具备下端,所述上部具有延伸穿过所述主体的通路,所述通路具有第一端与第二端,所述致动器的尺寸经设计以可滑动地定位在所述止动器的所述开口内,使得当没有力施加至所述致动器的所述下端时,所述致动器的所述下端从所述止动器的所述底端突出第一距离;发射器,所述发射器与所述致动器中的所述通路的所述第一端对齐;以及检测器,所述检测器与所述致动器中的所述通路的所述第二端对齐。
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