[实用新型]一种高效多晶硅表面处理装置

摘要

本实用新型公开了一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体和支撑架，主体的内部设置有伺服电机a、伺服电机b和伺服电机c，伺服电机a通过同步带连接输送带，伺服电机b通过同步带连接砂轮带a，伺服电机c通过同步带连接砂轮带b，砂轮带a的顶部设置有砂轮带c，砂轮带b的顶部设置有砂轮带d，砂轮带a和砂轮带c之间设置有若干除尘管道，砂轮带b和砂轮带d之间设置有若干除尘管道，主体的一侧设置有支撑架，支撑架通过微调气缸a连接支架b，支撑架通过微调气缸b连接支架c。本实用新型加工效率极高，加工质量可靠，绿色环保。

主权项

一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体（1）和支撑架（15），其特征在于，所述主体（1）的内部设置有伺服电机a（4）、伺服电机b（5）和伺服电机c（6），所述伺服电机a（4）通过同步带（8）连接输送带（9），所述伺服电机b（5）通过同步带（8）连接砂轮带a（11），所述伺服电机c（6）通过同步带（8）连接砂轮带b（12），所述砂轮带a（11）的顶部设置有砂轮带c（18），所述砂轮带b（12）的顶部设置有砂轮带d（19），所述砂轮带a（11）和砂轮带c（18）之间设置有若干除尘管道（14），所述砂轮带b（12）和砂轮带d（19）之间设置有若干除尘管道（14），所述主体（1）的一侧设置有支撑架（15），所述支撑架（15）通过微调气缸a（16）连接支架b（20），所述支撑架（15）通过微调气缸b（17）连接支架c（21）。