[实用新型]一种高效多晶硅表面处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅加工装置，特别涉及一种高效多晶硅表面处理装置。

背景技术

在多晶硅铸锭加工工艺过程中，多晶硅铸锭表面会粘有氮化硅等杂质，由于铸锭生产中的分凝与扩散作用，部分杂质甚至会渗透到多晶硅铸锭表面的表层，在对多晶硅铸锭开方后，会形成大量的多晶硅锭边料，多晶硅锭边料一般均要回收，为了提高回收率，一般都要对多晶硅锭边料的表面进行清理，将其表面及表层所含的杂质去除。

目前，现有技术往往是利用喷砂或者人工打磨的方法预处理，加工效率低下，加工质量无法保证，且粉尘严重，污染环境。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种高效多晶硅表面处理装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体和支撑架，所述主体的内部设置有伺服电机a、伺服电机b和伺服电机c，所述伺服电机a通过同步带连接输送带，所述伺服电机b通过同步带连接砂轮带a，所述伺服电机c通过同步带连接砂轮带b，所述砂轮带a的顶部设置有砂轮带c，所述砂轮带b的顶部设置有砂轮带d，所述砂轮带a和砂轮带c之间设置有若干除尘管道，所述砂轮带b和砂轮带d之间设置有若干除尘管道，所述主体的一侧设置有支撑架，所述支撑架通过微调气缸a连接支架b，所述支撑架通过微调气缸b连接支架c。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架b的内部设置有伺服电机d，所述伺服电机d通过同步带连接砂轮带c，所述支架c的内部设置有伺服电机e，所述伺服电机e通过同步带连接砂轮带d。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伺服电机a的一侧设置有总电源，所述总电源的一侧设置有PLC可编程控制器，所述PLC可编程控制器与伺服电机a、伺服电机b、伺服电机c、伺服电机d、伺服电机e、总电源、微调气缸a、微调气缸b均电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述砂轮带a和输送带之间设置有衔接板，所述砂轮带a和砂轮带b之间设置有衔接板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述主体的底部设置有防滑底座。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过砂轮带a和砂轮带c以相反的方向运转，打磨多晶硅，砂轮带的表面打磨加工效率远高于传统的刷毛机和喷丸机，而且本实用新型采用的是上下表面同时加工的方式，极大地提高了工作效率，砂轮带b和砂轮带d对多晶硅进行再次加工，进一步提高多晶硅表面打磨加工的质量，同时在打磨加工处设置有除尘管道，减少环境污染，本实用新型加工效率极高，加工质量可靠，绿色环保。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图中：1、主体；2、防滑底座；3、总电源；4、伺服电机a；5、伺服电机b；6、伺服电机c；7、PLC可编程控制器；8、同步带；9、输送带a；10、支架a；11、砂轮带a；12、砂轮带b；13、衔接板；14、除尘管道；15、支撑架；16、微调气缸a；17、微调气缸b；18、砂轮带c；19、砂轮带d；20、支架b；21、支架c；22、伺服电机d；23、伺服电机e。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1所示，本实用新型提供一种高效多晶硅表面处理装置，包括主体1和支撑架15，主体1的内部设置有伺服电机a4、伺服电机b5和伺服电机c6，伺服电机a4通过同步带8连接输送带9，伺服电机b5通过同步带8连接砂轮带a11，伺服电机c6通过同步带8连接砂轮带b12，砂轮带a11的顶部设置有砂轮带c18，砂轮带b12的顶部设置有砂轮带d19，砂轮带a11和砂轮带c18之间设置有若干除尘管道14，砂轮带b12和砂轮带d19之间设置有若干除尘管道14，主体1的一侧设置有支撑架15，支撑架15通过微调气缸a16连接支架b20，支撑架15通过微调气缸b17连接支架c21。

进一步的，支架b20的内部设置有伺服电机d22，伺服电机d22通过同步带8连接砂轮带c18，支架c21的内部设置有伺服电机e23，伺服电机e23通过同步带8连接砂轮带d19，电力驱动，大大提高了工作效率。