[实用新型]一种大型类金刚石薄膜真空镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种大型类金刚石薄膜真空镀膜装置，包括镀膜腔体，镀膜腔体内设有转架；围绕镀膜腔体的圆周，依次设有第二弯管连接口、第一弯管连接口、第三弯管连接口、第四弯管连接口、第六弯管连接口和第五弯管连接口，第三弯管连接口和第四弯管连接口之间相差一个用于安装真空泵的工位，第一至第六弯管连接口对应通过第一至第六磁过滤弯管连接对应的真空电弧镀膜源，第一至第六磁过滤弯管上均缠绕励磁线圈；第一磁过滤弯管、第二磁过滤弯管和第四磁过滤弯管上励磁线圈的电流方向不同于第三磁过滤弯管、第五磁过滤弯管和第六磁过滤弯管上励磁线圈的电流方向。

主权项

一种大型类金刚石薄膜真空镀膜装置，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体内设有转架；其特征在于：围绕所述镀膜腔体的圆周，依次设有第二弯管连接口、第一弯管连接口、第三弯管连接口、第四弯管连接口、第六弯管连接口和第五弯管连接口，所述第三弯管连接口和所述第四弯管连接口之间相差一个用于安装真空泵的工位；所述第一至第六弯管连接口对应通过第一至第六磁过滤弯管连接对应的真空电弧镀膜源，所述第一至第六磁过滤弯管上均缠绕励磁线圈；所述第一磁过滤弯管、所述第二磁过滤弯管和所述第四磁过滤弯管上励磁线圈的电流方向不同于所述第三磁过滤弯管、所述第五磁过滤弯管和所述第六磁过滤弯管上励磁线圈的电流方向；所述第一弯管连接口和所述第六弯管连接口的水平高度，所述第三弯管连接口和所述第四弯管连接口的水平高度，以及所述第二弯管连接口和所述第五弯管连接口的水平高度，均是不同的。