[实用新型]一种石英舟及取放石英舟的双叉有效
| 申请号： | 201621217076.0 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN206432244U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘宗超 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 610029 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路半导体晶圆生成制造领域，尤其涉及一种石英舟及取放石英舟的双叉，该石英舟包括舟体和底座，舟体包括相对设置的两个U型石英架、用于连接两个U型石英架左右侧壁的两根开槽石英棒、靠近所述两个开槽石英棒均设置石英管、每个U型石英架开口上设置一根石英管，底座为贯穿在两个U型石英架底部的两根开槽石英棒，位于U型石英架开口上石英管两端的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶，进而实现了方便在高温条件下取放和平放晶圆时限位和固定的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
一种石英舟，其特征在于，包括：舟体和底座，舟体包括相对设置的两个U型石英架、用于连接两个U型石英架左右侧壁的两根开槽石英棒、靠近所述两个开槽石英棒均设置石英管、每个U型石英架开口上设置一根石英管，底座为贯穿在两个U型石英架底部的两根开槽石英棒，位于U型石英架开口上石英管两端的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
