[实用新型]一种新型曝光系统有效

专利信息
申请号: 201621178137.7 申请日: 2016-11-03
公开(公告)号: CN206378687U 公开(公告)日: 2017-08-04
发明(设计)人: 何忠亮;朱争鸣;叶文 申请(专利权)人: 深圳市柯士达光电有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518125 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种新型曝光系统,其特征为使用了新型PIN钉对位装置和自动退板装置。PIN钉为固定在光罩工具上的T形钉,自动退板装置,其特征在于由顶板设施、控制系统与安装有PIN钉对位装置的光罩工具组成;顶板设施安装在光罩工具及被曝光件之间,由控制系统控制完成上顶或下缩动作,可将被曝光物件从定位装置顶起或放下。该曝光系统用于PCB、LCD、触摸屏等领域,可有效解决曝光机使用过程中产生的对位偏移、PIN钉对位时退板困难等问题,可大大提升生产效率和产品质量。
搜索关键词: 一种 新型 曝光 系统
【主权项】:
一种新型曝光系统,其特征在于:所述系统包括自动退板装置,所述自动退板装置包括PIN钉对位装置、顶板设施;所述PIN钉对位装置包括PIN钉、光罩工具;所述PIN钉固定在光罩工具上;在曝光时,所述光罩工具用于放置被曝光件,并放置在曝光机上;所述顶板设施安装在所述PIN钉对位装置及被曝光件之间,通过控制顶板设施的顶起或收缩,实现被曝光件从所述PIN钉对位装置上顶起或安装在PIN钉对位装置上。
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