[实用新型]一种曝光系统杂散光过滤装置有效
申请号: | 201621178136.2 | 申请日: | 2016-11-03 |
公开(公告)号: | CN206378686U | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 何忠亮;朱争鸣;叶文 | 申请(专利权)人: | 深圳市柯士达光电有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518125 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征在于在LED光源的光路方向上,有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板,可以过滤掉不需使用的大角度光线,且相邻的开孔不会相互干扰光路。该系统用于PCB、LCD、触摸屏等领域曝光设备中,具有成本低廉,解析度高等优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 系统 散光 过滤 装置 | ||
【主权项】:
一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征在于:在LED光源的光路方向上,有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板,可以过滤掉不需使用的大角度光线,且相邻的开孔不会相互干扰光路。
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