[实用新型]一种卧式方形碳化硅烧结炉有效
| 申请号： | 201620963357.4 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN205980764U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 黄超斌;成友为 | 申请（专利权）人： | 长沙诺天电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/06 | 分类号： | F27B14/06;C01B31/36;F27B14/14 |
| 代理公司： | 长沙市和协专利代理事务所(普通合伙)43115 | 代理人： | 王培苓 |
| 地址： | 410000 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卧式方形碳化硅烧结炉，包括炉体、真空泵、罗茨泵，所述真空泵和罗茨泵固定在基座上，所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接，所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接，炉体底部设有与之固定的底座，其特征在于所述炉体顶部设有防爆阀，炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台，内支撑平台上设有方形感应线圈，方形感应线圈的两端延伸至炉体外，方形感应线圈的内部设有保温层，所述保温层内设有方形石墨坩埚。本实用新型用于碳化硅烧结，热温度均匀、加热温度超高、且连续可调。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 方形 碳化硅 烧结炉 | ||
【主权项】：
一种卧式方形碳化硅烧结炉，包括炉体、真空泵、罗茨泵，所述真空泵和罗茨泵固定在基座上，所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接，所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接，炉体底部设有与之固定的底座，其特征在于：所述炉体顶部设有防爆阀，炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台，内支撑平台上设有方形感应线圈，方形感应线圈的两端延伸至炉体外，方形感应线圈的内部设有保温层，所述保温层内设有方形石墨坩埚。
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