[实用新型]间距调整装置有效
申请号: | 201620943047.6 | 申请日: | 2016-08-25 |
公开(公告)号: | CN205920951U | 公开(公告)日: | 2017-02-01 |
发明(设计)人: | 李成;熊世伟;李万箭;柴求军 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/67;B08B1/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 300385 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种间距调整装置,包括支架、平行设置的第一移动部与第二移动部、激光发射器以及激光接收器;将第一移动部移动到需要的位置并固定,将所述间距调整装置放置于需要测量间距的两物体的外侧,打开激光发射器,移动上侧物体,使上侧物体与第一移动部相接触,然后同步移动所述上侧物体与所述间距调整装置,直至下侧物体接触所述第二移动部,并按压所述第二移动部使其移动到第二位置阻挡激光发射器发出的激光光束,此时第一移动部与第二移动部之间的距离即为两物体外侧之间的间距;所述间距调整装置结构简单,测量方便,能够快速准确的调整两物体之间的距离。 | ||
搜索关键词: | 间距 调整 装置 | ||
【主权项】:
一种间距调整装置,其特征在于,包括支架、平行设置的第一移动部与第二移动部、激光发射器以及激光接收器;所述支架的延伸方向为第一方向,所述第一移动部与第二移动部分别位于所述支架第一方向上的两端;所述第一移动部的一端与所述支架相连接,所述第一移动部能够沿所述第一方向移动并固定于所述支架上;所述第二移动部与所述支架相连接,具有第一位置以及沿第一方向更靠近所述支架边缘的第二位置,所述第二移动部能够移动至所述第一位置或第二位置;所述激光发射器与激光接收器位于所述支架上,所述激光发射器用于发出激光光束,所述激光接收器用于接收激光光束;当所述第二移动部位于第一位置时,所述激光接收器能够接收到所述激光发射器发出的激光光束,当所述第二移动部移动到第二位置时阻挡所述激光光束,所述激光接收器无法接收到所述激光光束。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造