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[实用新型]张紧装置及输送系统-CN201720311532.6有效
发明人：李成;熊世伟;李万箭;柴求军;苏智文 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B65G23/44 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种张紧装置及输送系统，所述张紧装置包括气缸、导杆和滑动块，所述导杆设置在所述气缸上，并且所述导杆能够做伸缩运动；所述滑动块与所述导杆相连，所述滑动块能够随着所述导杆的伸缩而上下滑动，并且带有皮带的传输装置设置在所述滑动块上。当所述传输装置中的皮带因变形而张力减小时，在所述气缸压力大于所述皮带的张力，所述导杆向下伸展并推动所述滑动块向下滑动，当皮带张紧后的张力与所述气缸的压力一致时所述导杆停止伸展，此时所述皮带处于张紧状态，这样可以保证在使用过程中皮带一直保持固定的张紧力，从而防止因皮带打滑导致传输失效。
装置输送系统

[实用新型]旋转检测装置和基板清洗设备-CN201720264235.0有效
发明人：高庆庆;熊世伟;柴求军;李万箭;杨志强 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2017-03-17 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： G01P13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种旋转检测装置及基板清洗设备，旋转检测装置用于对被检测物的旋转状况进行监控检测，其包括与被检测物接触的被动部件，当所述被检测物旋转时带动所述被动部件旋转；分别与被动部件和一感应部件连接的触发开关，当所述被动部件旋转时，所述触发开关打开，所述感应部件根据所述触发开关的打开或关闭执行相应的操作。即，本实用新型中的旋转检测装置，其直接与被检测物接触，并且可在被检测物的旋转带动下使触发开关打开，因此可通过确认感应部件所执行的相应操作，判断出被检测物的旋转状况，其检测结果更为准确直观。
旋转检测装置清洗设备

[实用新型]间距调整装置-CN201620943047.6有效
发明人：李成;熊世伟;李万箭;柴求军 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种间距调整装置，包括支架、平行设置的第一移动部与第二移动部、激光发射器以及激光接收器；将第一移动部移动到需要的位置并固定，将所述间距调整装置放置于需要测量间距的两物体的外侧，打开激光发射器，移动上侧物体，使上侧物体与第一移动部相接触，然后同步移动所述上侧物体与所述间距调整装置，直至下侧物体接触所述第二移动部，并按压所述第二移动部使其移动到第二位置阻挡激光发射器发出的激光光束，此时第一移动部与第二移动部之间的距离即为两物体外侧之间的间距；所述间距调整装置结构简单，测量方便，能够快速准确的调整两物体之间的距离。
间距调整装置

[实用新型]一种芯片抢救保护器-CN201320535048.3有效
发明人： 柴求军;余文军 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2013-08-29 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种芯片抢救保护器，所述芯片抢救保护器为底部封口的圆筒状容器，所述圆筒状容器内部底端的内径小于圆筒状容器顶端的内径，所述圆筒状容器的内壁为平滑斜面，所述圆筒状容器的内壁顶端的外径大于研磨头芯片挡圈的内径小于研磨头芯片挡圈的外径，在所述圆筒状容器的内壁的中部设有支架层，所述支架层顶端的内径大于圆筒状容器底端的内径小于圆筒状容器顶端内径。在机台异常时，芯片抢救保护器可以取代研磨垫而直接将研磨头上的芯片产品吹落到芯片抢救保护器中，芯片抢救保护器内充满芯片保护液（BTA）可以保护芯片表面免受腐蚀,从而降低芯片报废风险。
一种芯片抢救保护

[实用新型]液体循环搅拌装置-CN201120374959.3有效
发明人： 柴求军;余文军 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2011-09-30 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： B01F5/10 文献下载
摘要：本实用新型的液体循环搅拌装置包括依次连接的流体出桶管、泵和流体回流管，以及螺旋搅拌器，待搅拌液体盛装在溶液桶中，所述流体出桶管的一端插入所述液体内，所述螺旋搅拌器与所述流体回流管的一端连接，所述螺旋搅拌器插入所述液体内。本实用新型的液体循环搅拌装置搅拌效果好，可有效防止液体沉积和结晶。
液体循环搅拌装置

[实用新型]超声波清洗容器-CN201120334857.9有效
发明人： 柴求军;余文军 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-09-07 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声波清洗容器，包括外容器、内容器和若干液位传感器，所述内容器位于所述外容器的内部，还包括传感器调整定位机构，所述若干液位传感器通过传感器调整定位机构安装于所述外容器的外壁。本实用新型的超声波清洗容器，通过传感器调整定位机构将液位传感器安装于所述外容器的外壁，因此，可以根据容量需求而单独调整液位传感器的位置，从而改变外容器的实际使用容量，防止外容器因内部溶液过少而发生挥发甚至抽空现象，或者防止外容器因内部溶液过多而发生溶液残留现象，同时，也可以有效提高该超声波清洗容器的应用场合。另外，通过设置带有刻度的透明的连通器，可以直观读取外容器内的液体实际容量。
超声波清洗容器

[发明专利]一种脉动缓冲器及研磨液供应系统-CN201010181297.8有效
发明人： 柴求军;王怀锋;余文军;曹开玮 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2010-05-21 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明提供一种脉动缓冲器，包括壳体，壳体的两侧分别设置有液体入口和液体出口；壳体内设置有气体腔，气体腔的侧壁由可伸缩的伸缩膜组成，气体腔的顶面和底面由隔膜和壳体的底面组成，伸缩膜的一端固定于壳体的底面，另一端固定连接隔膜；气体腔内设置有中心轴和中心轴套，中心轴套的底面固定于壳体的底面，中心轴套的顶面设置有开口，中心轴通过中心轴套顶面的开口，其第一端连接隔膜，第二端位于中心轴套内；中心轴的第二端具有限位末端，限位末端的宽度大于中心轴套顶面的开口的间距；气体腔的底面设置有气体入口，用于向气体腔内通入压缩气体。该脉动缓冲器结构简单，相较其他种类的脉动缓冲器体积更小，具有很好的平滑脉动效果。
一种脉动缓冲器研磨供应系统