[实用新型]用于相对硅片片盒槽进行位置调节的等距位置调节器

摘要

用于相对硅片片盒槽进行位置调节的等距位置调节器，属于单晶硅片的生产领域，包括具有条状滑槽的底板和滑动设置在滑槽内的调节块，在滑槽的两侧壁对称设置有多个卡口，且相邻两个卡口之间的间距等于硅片片盒槽距。本实用新型结构简单，零部件少，在将其相对硅片片盒安装固定后，可方便的对连接、安装于其上的取放硅片用装置的位置进行移动调节，并定位于目的片盒槽，每次移动的距离为片盒槽距的整数倍，定位后外物施加于该装置上的力不能使其移动，而只能通过等距位置调节器使其移动。

主权项

用于相对硅片片盒槽进行位置调节的等距位置调节器，其特征在于：包括具有条状滑槽（1）的底板和滑动设置在滑槽（1）内的调节块，在滑槽（1）的两侧壁对称设置有多个卡口（101），且相邻两个卡口（101）之间的间距等于硅片片盒槽距，所述调节块包括滑动设置在滑槽（1）内的下滑块（2）、锁定弹簧片（3）和上推动块（4），其中，下滑块（2）为一板状件，其两侧的上部和下部分别设置有窄侧棱（202）和宽侧棱（201），且窄侧棱（202）和宽侧棱（201）之间形成卡住滑槽（1）侧壁的滑道（203），下滑块（2）的上表面设置有条状的矩形凹槽（204），矩形凹槽（204）的两侧对称设置有缺口，以使紧贴矩形凹槽（204）内壁设置的锁定弹簧片（3）穿过缺口后形成两个突出于滑道（203）并卡入卡口（101）内的卡头（301）；所述上推动块（4）的底部设置位于矩形凹槽（204）内的条状卡条（404），且上推动块（4）两侧的底部通过连接侧板（401）设置有向其中部延伸水平卡板（402），水平卡板（402）滑动卡设在滑道（203）内，在上推动块（4）的两侧对称设置有锥形开口（403），锥形开口（403）的两侧壁为倾斜的坡面（405），且两侧壁的间距从外向内逐渐扩大，以形成容纳并挤压卡头（301）使其脱离卡口（101）的空腔。