[实用新型]一种氮气干燥装置有效
| 申请号： | 201620674404.3 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205965439U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 黄菊英 | 申请（专利权）人： | 重庆三零三科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/26 | 分类号： | B01D53/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 402560 重庆市铜梁*** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种氮气干燥装置，包括加热腔体，所述加热腔体两端分别设置有密封块一、密封块二，所述加热腔体上侧设置有进气口，下侧设置有出气口，所述加热腔体内部设置有对称锥形喷头，所述对称锥形喷头之间设置有加热条。本实用新型结构简单、制造成本低廉、性能稳定、体积小，可实现氮气的快速加热与净化，特别适用于半导体制造工艺中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮气 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种氮气干燥装置，其特征在于，包括：加热腔体，所述加热腔体两端分别设置有密封块一、密封块二，所述加热腔体上侧设置有进气口，下侧设置有出气口，所述加热腔体内部设置有对称锥形喷头，所述对称锥形喷头之间设置有加热条。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆三零三科技有限公司，未经重庆三零三科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620674404.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种大型涂装行业废气处理系统
- 下一篇：空气收集处理桌
