[实用新型]一种硅片超声波清洗槽的送料装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的送料装置。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时，均采用人工送料的方式，这种方式存在较大的人为性质的不确定因素，容易导致硅片破裂，而且送料效率极低，不利于快节奏生产，存在不足。本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的送料装置，其中第二连杆的另一端与第四连杆连接，第四连杆与固定板连接，第三连杆的另一端与第二摇杆连接，第二摇杆与固定板连接，固定板与真空泵固定连接，真空泵通过真空管与真空吸盘连通。本装置采用多连杆驱动的方式，代替人工操作，避免人为性质的不确定因素对硅片造成破坏，有利于提高成品率，同时大幅度提高生产效率，为企业带来更大的经济效益。

主权项

一种硅片超声波清洗槽的送料装置，包括底座（1）、超声波振子（2）、槽体（3）、壳体（4）、电机（5）、曲柄（6）、第一连杆（7）、第一摇杆（8）、导向槽（9）、圆柱销（10）、第二连杆（11）、第一导向套（12）、第三连杆（13）、第二摇杆（14）、第四连杆（15）、真空泵（16）、真空管（17）、固定板（18）、真空吸盘（19）、第二导向套（20）、导向杆（21）；其特征在于：超声波振子（2）与槽体（3）固定连接，槽体（3）与底座（1）固定连接，底座（1）与壳体（4）固定连接，壳体（4）与电机（5）固定连接，电机（5）与曲柄（6）连接，曲柄（6）通过第一连杆（7）与第一摇杆（8）中部连接，第一摇杆（8）末端设有导向槽（9），导向槽（9）与圆柱销（10）连接，圆柱销（10）与第二导向套（20）连接，第二导向套（20）内壁与导向杆（21）连接，圆柱销（10）设于第三连杆（13）的一端，第三连杆（13）的中部与第二连杆（11）的一端连接，第二连杆（11）的中部与第一导向套（12）连接，第二连杆（11）的另一端与第四连杆（15）连接，第四连杆（15）与固定板（18）连接，第三连杆（13）的另一端与第二摇杆（14）连接，第二摇杆（14）与固定板（18）连接，固定板（18）与真空泵（16）固定连接，真空泵（16）通过真空管（17）与真空吸盘（19）连通。