[实用新型]一种硅片的组合清洗装置

摘要

本实用新型提出了一种硅片的组合清洗装置，包括：脱胶机、插片机和传送装置，传送装置包括皮带、电机、减速机、限位传感器、硅片放置箱和PLC控制器；皮带位于脱胶机和插片机之间；电机和减速机的输出端分别与皮带的皮带辊连接，电机和减速机的输入端分别与PLC控制器连接；限位传感器的输出端与皮带的端部连接，限位传感器的输入端与PLC控制器连接；硅片放置箱位于皮带上。本实用新型的有益效果如下：装置结构简单，制造成本低；装置运行稳定性好，自动化程度高，降低工人的劳动强度，提高工作效率，降低对人身和地板造成的损害；硅片传送过程安全，不会损伤切片。

主权项

一种硅片的组合清洗装置，其特征在于，包括：脱胶机(1)、插片机(2)和传送装置，所述传送装置包括皮带(3)、电机(4)、减速机(5)、限位传感器(6)、硅片放置箱(7)和PLC控制器；所述皮带(3)位于所述脱胶机(1)和所述插片机(2)之间；所述电机(4)和减速机(5)的输出端分别与所述皮带(3)的皮带辊连接，所述电机(4)和减速机(5)的输入端分别与所述PLC控制器连接；所述限位传感器(6)的输出端与所述皮带(3)的端部连接，所述限位传感器(6)的输入端与所述PLC控制器连接；所述硅片放置箱(7)位于所述皮带(3)上，所述硅片放置箱(7)的尺寸大小与所述皮带(3)相适配。