[实用新型]一种碳化硅的生长装置有效
申请号: | 201620598511.2 | 申请日: | 2016-06-17 |
公开(公告)号: | CN205874585U | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 申请(专利权)人: | ||
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B35/00 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 苗峻,杨婷 |
地址: | 250000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及碳化硅籽晶生长技术领域,具体为一种碳化硅的生长装置。该装置采用液压伸缩杆以及空心管状籽晶轴设计,通过加入第一伸缩杆的方式,能够自主调控籽晶与坩埚之间的距离,同时由于坩埚两侧对称设有第二液压伸缩杆且第二液压伸缩杆之间的中心轴线与籽晶托架中心轴线重合,保证了籽晶的中心与坩埚中心的快速对齐,节省操作时间,大大提高了工作效率;同时,籽晶轴采用空心管状结构,减少了形变,延长了使用寿命;通过使用籽晶托架,避免了晶体内局部应力大造成开裂、缺陷多等情况,可以生长出高质量的SiC晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种碳化硅的生长装置,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的内部设置有保温层(2),所述保温层(2)的内侧下方设有滑槽(3),滑槽(3)内通过支架(4)滑动安装有坩埚(5),所述保温层(2)内部左右两侧均开设有槽孔(6),所述槽孔(6)的底部固定安装有第一液压伸缩杆(7),所述第一液压伸缩杆(7)之间设有连接板(8),所述连接板(8)上固定安装固定块(9);固定块(9)下方连接有空心管状籽晶轴(10),籽晶轴(10)下端连接有籽晶托架(11);所述坩埚(5)两侧对称设有第二液压伸缩杆(12)且第二液压伸缩杆(12)之间的中心轴线与籽晶托架(11)中心轴线重合。
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