[实用新型]一种干湿混合等离子刻蚀装置

摘要

本实用新型公开了一种干湿混合等离子刻蚀装置，包括机体和活动门，所述活动门铰接在机体左侧壁，所述机体上表面安装有刻蚀剂储存箱，所述刻蚀剂储存箱通过管道连接有喷淋管，且喷淋管位于机体内部，所述喷淋管表面设有喷淋头，所述机体右侧壁设有射频匹配装置，所述射频匹配装置通过导线连接有等离子板，所述机体内部右侧壁设有回流管，所述回流管的一端连接有刻蚀剂回流箱，所述回流管的表面安装有截止阀，所述机体右侧壁安装有红外加热装置，且红外加热装置电性连接于红外发热二极管，所述机体右侧壁还安装有分级控制器，且分级控制器电性连接于射频匹配装置和红外加热装置。该装置结构简单，设计合理，且实用性强。

主权项

一种干湿混合等离子刻蚀装置，包括机体（1）和活动门（2），所述活动门（2）铰接在机体（1）左侧壁，其特征在于：所述机体（1）上表面安装有刻蚀剂储存箱（3），所述刻蚀剂储存箱（3）通过管道连接有喷淋管（4），且喷淋管（4）位于机体（1）内部，所述喷淋管（4）表面设有喷淋头（5），所述机体（1）右侧壁设有射频匹配装置（6），所述射频匹配装置（6）通过导线连接有等离子板（7），且等离子板（7）位于机体（1）内部，所述等离子板（7）表面设有屏蔽罩（8），所述机体（1）内部设有搁板（10），所述搁板（10）上表面安装有盛料托盘（9），所述盛料托盘（9）内腔底部设有红外发热二极管（91），所述红外发热二极管（91）上表面设有导热层（92），所述导热层（92）的上表面设有防水层（93），所述搁板（10）下表面连接有真空管（11），且真空管（11）的一端连接有真空泵（12），所述真空泵（12）位于机体（1）内腔底部，所述机体（1）内部右侧壁设有回流管（13），所述回流管（13）的一端连接有刻蚀剂回流箱（14），且刻蚀剂回流箱（14）位于真空泵（12）右侧，所述回流管（13）的表面安装有截止阀（16），所述机体（1）右侧壁安装有红外加热装置（15），且红外加热装置（15）电性连接于红外发热二极管（91），所述机体（1）右侧壁还安装有分级控制器（17），且分级控制器（17）电性连接于射频匹配装置（6）和红外加热装置（15）。