[实用新型]硅片切割砂浆回收装置有效
申请号: | 201620529902.9 | 申请日: | 2016-06-03 |
公开(公告)号: | CN205710644U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 王会敏;何京辉;李立伟;张立涛;菅书勇;李会刚 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C10M175/00 | 分类号: | C10M175/00;C01B31/36 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 黄辉本 |
地址: | 054001 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片切割砂浆回收装置,涉及硅片切割机辅助设备技术领域,包括旧砂浆收集罐、加热罐、砂浆泵、离心机和回收缸,旧砂浆收集罐与硅片切割机相连,所述旧砂浆收集罐、加热罐、砂浆泵和离心机依次通过砂浆管相连,离心机出口端连接回收缸。将旧砂浆收集罐内的砂浆通过加热罐进行加热,借助旧砂浆切割液中聚乙二醇随温度升高粘度随之降低的特性,利用加热罐将旧砂浆的粘度降低,再利用砂浆泵将旧砂浆输送至离心机,旧砂浆在离心机内完成硅粉和碳化硅的分离。本实用新型具有结构简单、砂浆回收率高的优点,利用加热罐来降低旧砂浆内切割液的粘度,通过改善硅粉的分离效果来提高旧砂浆的回收质量。 | ||
搜索关键词: | 硅片 切割 砂浆 回收 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片切割砂浆回收装置,其特征在于:包括旧砂浆收集罐(1)、加热罐(2)、砂浆泵(3)、离心机(4)和回收缸(5),旧砂浆收集罐(1)与硅片切割机相连,所述旧砂浆收集罐(1)、加热罐(2)、砂浆泵(3)和离心机(4)依次通过砂浆管相连,离心机(4)出口端连接回收缸(5)。
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