[实用新型]一种硅片高温扩散设备有效
| 申请号： | 201620523664.0 | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN205774928U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 周士杰;陈圣铁 | 申请（专利权）人： | 温州隆润科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B31/10;C30B31/16;C30B31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片高温扩散设备，包括扩散炉，所述扩散炉的左侧安装有进气管，所述扩散炉的上方左端安装有控制装置，所述扩散炉的内部左端设置有缓冲隔板，所述缓冲隔板上设置有通孔，所述扩散炉的内部中间安装有石墨舟，所述石墨舟的内部放置有硅片，所述扩散炉的内部上方安装有压力传感器，所述压力传感器通过导线与控制装置电性连接，所述扩散炉的上方通过真空管与真空泵固定连接，所述真空管上安装有电磁阀。该硅片高温扩散设备，提高炉体内不同空间位置的待反应气体成分、密度的均匀性，从而提高硅片掺杂的均匀性，减少太阳电池局部漏电、较大的接触电阻及载流子的复合效率，有效提高了太阳电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 高温 扩散 设备 | ||
【主权项】：
一种硅片高温扩散设备，包括扩散炉（1），所述扩散炉（1）的左侧安装有进气管（2），所述扩散炉（1）的右侧设置有出气管（10），其特征在于：所述扩散炉（1）的上方左端安装有控制装置（12），所述扩散炉（1）的内部左端设置有缓冲隔板（3），所述缓冲隔板（3）上设置有通孔（4），所述扩散炉（1）的内部中间安装有石墨舟（9），所述石墨舟（9）的内部放置有硅片（11），所述扩散炉（1）的内部上方安装有压力传感器（8），所述压力传感器（8）通过导线与控制装置（12）电性连接，所述扩散炉（1）的上方通过真空管（7）与真空泵（5）固定连接，所述真空管（7）上安装有电磁阀（6）。
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