[实用新型]可实时探测的空心阴极离子镀试验装置有效
| 申请号： | 201620480111.1 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN205590787U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 杨嘉嘉;杨文志;陈招燕;程亚丽 | 申请（专利权）人： | 中山市万物文化发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了可实时探测的空心阴极离子镀试验装置，包括真空机组、主电源、阴极钽管、空心阴极、辅助阴极，所述的真空机组上设有反应气体入口，其特征在于：所述的空心阴极一端与所述的阴极钽管连接，另一端与所述的辅助阴极连接，所述的真空机组上设有水冷铜坩埚，所述的辅助阴极与所述的水冷铜坩埚之间设有偏转聚焦极，所述的水冷铜坩埚一侧设有探测单元。 | ||
| 搜索关键词： | 实时 探测 空心 阴极 离子镀 试验装置 | ||
【主权项】：
可实时探测的空心阴极离子镀试验装置，包括真空机组(14)、主电源(16)、阴极钽管(1)、空心阴极(2)、辅助阴极(3)，所述的真空机组(14)上设有反应气体入口(12)，其特征在于：所述的空心阴极(2)一端与所述的阴极钽管(1)连接，另一端与所述的辅助阴极(3)连接，所述的真空机组(14)上设有水冷铜坩埚(13)，所述的辅助阴极(3)与所述的水冷铜坩埚(13)之间设有偏转聚焦极(15)，所述的水冷铜坩埚(13)一侧设有探测单元(56)。
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