[实用新型]一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件及气体钝化设备

摘要

本实用新型提出一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置，所述喷淋板装置包括壳体，其上设有与反应气体发生器连接的通气孔，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件，设置在壳体侧边的固定板和挡板；所述抽风装置置于喷淋板的正下方，待处理的硅片从喷淋板装置与抽风装置之间走过。本实用新型的光伏电池硅片表面气体钝化设备的气体喷淋组件采用三级气体匀流，可以保证气体在硅片片间及片内的均匀性；通过高度可调的设计方便实际应用时针对产线的具体情况进行调整，提高其应用上的适应性；另通过高度可调的挡板设计，避免了外界气体对反应气体的干扰进而影响硅片钝化的质量。本实用新型的气体喷淋组件及钝化设备，可以大幅提高硅片钝化的效果，提高硅片处理的良率，节省生产成本。

主权项

一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述气体喷淋组件包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置，所述喷淋板装置包括壳体，其上设有与反应气体发生器连接的通气孔，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件，设置在壳体侧边的固定板和挡板，所述的壳体与气体匀流板组件通过螺丝固定并设有气体匀流板组件高度调节的螺栓；所述抽风装置置于喷淋板的正下方，待处理的硅片从喷淋板装置与抽风装置之间走过，所述抽风装置呈盒体状，盒体的上盖板的边缘部设有抽风槽，盒体左右两侧盖板上设有多个抽风小孔，盒体的前侧或后侧盖板上设有与抽风机连接的出气口；从喷淋板喷出的反应气体对硅片表面进行处理后被其下方的抽风装置吸走以避免气体泄漏。