[实用新型]一种单晶炉用二次加料器有效
申请号: | 201620462828.3 | 申请日: | 2016-05-20 |
公开(公告)号: | CN205741272U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 令狐铁兵;王新;刘要普 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 狄干强 |
地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种单晶炉用二次加料器,包括加料筒和导流碗,加料筒包括底部的锥台型定位环和导流块、加料筒底部外侧的卡扣、加料筒上部外侧的挡圈、加料筒上部的定位支撑横杆、中心环和连杆,连杆上端有用于和籽晶卡头连接的连接卡槽;导流碗包括:导流碗上部的卡块和下端面磨砂处理的指示环。本实用新型通过下降上轴带动连杆和导流块移动,使其与锥台型定位环之间出现缝隙,粒状硅或碎多晶从缝隙中均匀漏下并沿导流碗进入熔体,加料过程中通过观察指示环与液面之间的距离,调整液面位置;此时通过操作上轴的上下运动可调整缝隙的宽度,从而控制加料速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 二次 料器 | ||
【主权项】:
一种单晶炉用二次加料器,其特征在于:包括加料筒(5)和导流碗(12),其中,加料筒(5)的顶部设置有带中心环(11)的定位支撑横杆(10),环绕加料筒(5)底部的内壁设置有锥台形定位环(6),且锥台形定位环(6)内壁的直径由上至下逐渐增大,加料筒(5)的中轴处设置有贯穿加料筒(5)轴线方向的连杆(4),连杆(4)的上部穿出中心环(11)后设置有锁闭孔(2)和与籽晶卡头(15)连接的连接卡槽(1),底部设置有外部形状与锥台形定位环(6)内壁配合的导流块(8),以使连杆(4)通过穿设在锁闭孔(2)中的定位销架设在中心环(11)的上边缘时,导流块(8)与锥台形定位环(6)紧密配合;在加料筒(5)外壁的顶部和底部分别设置有与单晶炉脖子(16)配合的挡圈(3)和与导流碗(12)配合的环形卡扣(7),环形卡扣(7)上分布有若干扣槽(9),所述导流碗(12)为上部直径大于下部直径的圆台状空筒,其上部的外壁上设置有固定环,固定环上分布有与环形卡扣(7)上的扣槽(9)相配合的卡块(13),导流碗(12)底部设置有指示环(14)。
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