[实用新型]一种超高反射率光学扫描振镜有效
| 申请号： | 201620459799.5 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN205787360U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 吴小春;叶沈航 | 申请（专利权）人： | 三明福特科光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;C23C14/30;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/26;C23C14/18 |
| 代理公司： | 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙)35220 | 代理人： | 陈智雄;黄秀婷 |
| 地址： | 365499 福建省三明市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超高反射率光学扫描振镜，所述的光学扫描振镜由玻璃基材层及沉积镀制在玻璃基材层上的高反膜组成；所述的高反膜由9层膜层组成，9层膜层依照距离玻璃基材层从近至远的顺序依次为：第一Al2O3膜层、Ag膜层、第二Al2O3膜层、第一SiO2膜层、第一高折射率材料膜层、第二SiO2膜层、第二高折射率材料膜层、第三SiO2膜层、第三高折射率材料膜层。本实用新型的有益效果是：在减少镀膜层数的同时大大增加反射带带宽和谐振角度，反射率大于99％的反射带宽达300nm，且有效谐振角度可达0‑80°。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 反射率 光学 扫描 | ||
【主权项】：
一种超高反射率光学扫描振镜，所述的光学扫描振镜由玻璃基材层(1)及沉积镀制在玻璃基材层上的高反膜(2)组成；其特征在于：所述的高反膜(2)由9层膜层组成，9层膜层依照距离玻璃基材层从近至远的顺序依次为：第一Al2O3膜层(21)、Ag膜层(22)、第二Al2O3膜层(23)、第一SiO2膜层(24)、第一高折射率材料膜层(25)、第二SiO2膜层(26)、第二高折射率材料膜层(27)、第三SiO2膜层(28)、第三高折射率材料膜层(29)；所述的第一高折射率材料膜层(25)、第二高折射率材料膜层(27)和第三高折射率材料膜层(29)均由折射率范围为1.9～2.4的高折射率材料制成。
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