[实用新型]一种一体式冷冻弧源有效
| 申请号： | 201620436071.0 | 申请日： | 2016-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN205688002U | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 武文全 | 申请（专利权）人： | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种一体式冷冻弧源，涉及真空离子镀技术领域，包括引弧组件、蒸发源、水冷套、调节套、屏蔽组件、法兰和磁场微调组件，所述蒸发源设于法兰的右侧并通过调节套固定在法兰上，所述水冷套设于法兰的左侧，水冷套与法兰一体焊接成型并组成一水冷腔，水冷腔左侧上下分别设有进水口和出水口，所述引弧组件安装在法兰上并位于蒸发源的侧面，所述磁场微调组件设于水冷套的左侧并通过封盖固定，所述屏蔽组件安装于法兰的侧面，本实用新型采用整体焊接工艺，水冷套与法兰一体化焊接，使其燃烧材料时，表面温度低，同时增加大水冷套，使其流量大，效果佳，避免产生过热现象，整体结构紧凑，安装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 冷冻 | ||
【主权项】：
一种一体式冷冻弧源，其特征在于，包括引弧组件、蒸发源、水冷套、调节套、屏蔽组件、法兰和磁场微调组件，所述蒸发源设于法兰的右侧并通过调节套固定在法兰上，所述水冷套设于法兰的左侧，水冷套与法兰一体焊接成型并组成一水冷腔，水冷腔左侧上下分别设有进水口和出水口，所述引弧组件安装在法兰上并位于蒸发源的侧面，所述磁场微调组件设于水冷套的左侧并通过封盖固定，所述屏蔽组件安装于法兰的侧面。
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