[实用新型]一体式四石英音叉谐振敏感元件及测力模块有效
| 申请号： | 201620386838.3 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205861251U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所51221 | 代理人： | 王芸,熊晓果 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种一体式四石英音叉谐振敏感元件及测力模块，其中谐振敏感元件包括施力结构件，其四周连接四个音叉，四个音叉端部均设有便于安装固定的底座；每个音叉包括两个叉指，每个叉指表面均涂覆有电极区；四个音叉工作在面内弯曲振动模态，其中第一音叉和第二音叉相对设置且谐振频率对应一个方向拉应力、压应力敏感，第三音叉和第四音叉相对设置且谐振频率对应另一个方向拉应力、压应力敏感；四个音叉和施力结构件底座均为一体成型石英结构体。该谐振敏感元件通过检测四个音叉所在轴向谐振频率差值可对不同方向分力进行测量，避免不同材料组装后导致的热膨胀系数不同、胶粘剂在温度变化时发生蠕变以及内应力存在的问题，测力精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 石英 音叉 谐振 敏感 元件 测力 模块 | ||
【主权项】：
一种一体式四石英音叉谐振敏感元件，包括施力结构件(7)，其特征在于，所述施力结构件(7)四周分别连接有第一音叉(1)、第二音叉(2)、第三音叉(3)和第四音叉(4)，所述第一音叉(1)、第二音叉(2)、第三音叉(3)和第四音叉(4)端部均设有便于安装固定的底座(8)；所述第一音叉(1)包括第一叉指(11)和第二叉指(12)，所述第二音叉(2)包括第三叉指(21)和第四叉指(22)，所述第三音叉(3)包括第五叉指(31)和第六叉指(32)，所述第四音叉(4)包括第七叉指(41)和第八叉指(42)；所述第一音叉(1)、第二音叉(2)、第三音叉(3)和第四音叉(4)表面均涂覆有电极区；所述第一音叉(1)、第二音叉(2)、第三音叉(3)和第四音叉(4)工作在面内弯曲振动模态，其中所述第一音叉(1)和第二音叉(2)相对设置且谐振频率相对一个方向拉应力、压应力敏感，所述第三音叉(3)和第四音叉(4)相对设置且谐振频率相对另一个方向拉应力、压应力敏感；所述第一音叉(1)、第二音叉(2)、第三音叉(3)、第四音叉(4)和施力结构件(7)、底座(8)均为一体成型石英结构体。
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