[实用新型]一种硅片分选机可转位收片台有效
| 申请号： | 201620289562.7 | 申请日： | 2016-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN205564723U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 范玉红;刘巍;李佩剑;荆新杰;韩庆辉;安须召 | 申请（专利权）人： | 阳光硅峰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 065201 河北省廊坊市三河市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片分选机可转位收片台。其包括支架，在支架上固定设置有上下方向的导轨和丝杆，丝杆上套装有相应的丝母，丝母由电机驱动，升降架与电机固定连接，能够跟随丝母及其电机一起沿导轨上下滑动；在升降架上设置有多个上下布置的转轴座，在转轴座的上下两个立片之间固定装有上下方向的转轴，在转轴上套装有合页片，合页片能够绕转轴转动，支撑架与合页片固定连接，在支撑架上固定安装硅片盒。本实用新型的硅片盒向前转为取片位，向后转为工作位，通过设置可转位收片台，使得上下层硅片盒之间不再发生互相影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 分选 机可转位收片台 | ||
【主权项】：
一种硅片分选机可转位收片台，其特征在于：包括支架(1)，在支架(1)上固定设置有上下方向的导轨(2)和丝杆(20)，丝杆(20)上套装有相应的丝母，丝母由电机(4)驱动，升降架(3)与电机(4)固定连接，能够跟随丝母及其电机(4)一起沿导轨(2)上下滑动；在升降架(3)上设置有多个上下布置的转轴座(5)，在转轴座(5)的上下两个立片之间固定装有上下方向的转轴(9)，在转轴(9)上套装有合页片(10)，合页片(10)能够绕转轴(9)转动，支撑架(8)与合页片(10)固定连接，在支撑架(8)上固定安装硅片盒(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
