[实用新型]一种驱动装置、磁控设备和磁控溅射系统

摘要

本实用新型提供一种驱动装置、磁控设备和磁控溅射系统。该驱动装置用于驱动磁控管转动，包括：动力带动机构和齿轮箱机构，动力带动机构包括动力源和轴，动力源连接轴，且动力源用于带动轴转动；齿轮箱机构连接动力带动机构，且齿轮箱机构能在轴的带动下转动，齿轮箱机构包括动密封件，动力带动机构包括密封保护件，密封保护件与动密封件相对应设置，用于在齿轮箱机构绕轴转动时对齿轮箱机构内部形成密封。该驱动装置通过设置密封保护件，能在齿轮箱机构在轴的带动下转动时，使齿轮箱机构外部的介质无法进入到齿轮箱机构内部，从而在齿轮箱机构绕轴转动时能够确保对齿轮箱机构内部形成很好的密封。

主权项

一种驱动装置，用于驱动磁控管转动，包括：动力带动机构和齿轮箱机构，所述动力带动机构包括动力源和轴，所述动力源连接所述轴，且所述动力源用于带动所述轴转动；所述齿轮箱机构连接所述动力带动机构，且所述齿轮箱机构能在所述轴的带动下转动，所述齿轮箱机构包括动密封件，其特征在于，所述动力带动机构包括密封保护件，所述密封保护件与所述动密封件相对应设置，用于在所述齿轮箱机构绕所述轴转动时对所述齿轮箱机构内部形成密封。