[实用新型]一种全自动数控硅片输送装置

摘要

本实用新型公开了一种全自动数控硅片输送装置，包括输送台、第一传送带、第二传送带和防辐射箱，输送台内部设有防辐射箱，防辐射箱内部设有第二传送带，输送台顶部设有第一传送带、切割箱、PLC电控箱、灭菌箱和检测箱，切割箱内部设有切割机构，外侧设有电动机，灭菌箱内部设有紫外线灯管，切割箱、PLC电控箱、灭菌箱和检测箱底部均设有出口，该装置通过PLC电控箱，能够实现装置的全自动运行，这样就能够在无人的状态下进行输送工作，减少了人工投入以及提高了输送效率，通孔和防辐射箱，能够实现防辐射的同时，可以对硅片输送工作中产生的碎渣进行收集，防止碎渣摩擦硅片，影响硅片的质量。

主权项

一种全自动数控硅片输送装置，包括输送台（1）、第一传送带（2）、第二传送带（3）和防辐射箱（14），其特征在于，所述输送台（1）内部设有所述防辐射箱（14），所述防辐射箱（14）内部设有所述第二传送带（3），所述输送台（1）顶部设有所述第一传送带（2）、切割箱（4）、PLC电控箱（5）、灭菌箱（6）和检测箱（8），所述切割箱（4）内部设有切割机构（11），外侧设有电动机（12），所述灭菌箱（6）内部设有紫外线灯管（7），所述切割箱（4）、所述PLC电控箱（5）、所述灭菌箱（6）和所述检测箱（8）底部均设有出口（9），所述灭菌箱（6）和所述检测箱（8）的所述出口（9）内壁两侧均设有限位器（10）。