[实用新型]一种硅晶片生产装置有效
| 申请号： | 201620262900.8 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN205688053U | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 邹文龙;张力峰;田利中;白青松;梁会宁 | 申请（专利权）人： | 苏州晶樱光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215614 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种硅晶片生产装置，属于硅晶片生产领域，包括多晶硅盛放箱，所述多晶硅盛放箱设有第一挡板，所述多晶硅盛放箱通过传送带连接超高温熔解炉，所述超高温熔解炉内腔设有第二挡板，所述第二挡板两侧底部均设有移动滑板，所述移动滑板顶部分别设有P型石英坩埚、N型石英坩埚，所述高温熔解炉一侧连接冷却箱，所述冷却箱从左到右依次连接切断装置、滚圆装置、切片装置与倒角装置，所述倒角装置从上到下依次连接研磨装置、腐蚀装置、抛光装置、清洗装置与检验装置，所述检验装置一侧连接自动包装装置，本实用新型通过两种放有不同掺杂剂的石英坩埚，经过一系列的工艺可以生产出具有不同电特性的硅晶片，结构简单，设计合理，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 生产 装置 | ||
【主权项】：
一种硅晶片生产装置，包括多晶硅盛放箱（1），其特征在于，所述多晶硅盛放箱（1）设有第一挡板（2），所述多晶硅盛放箱（1）通过传送带（3）连接超高温熔解炉（4），所述超高温熔解炉（4）内腔设有第二挡板（5），所述第二挡板（5）两侧底部均设有移动滑板（6），所述移动滑板（6）顶部分别设有P型石英坩埚（7）、N型石英坩埚（8），所述高温熔解炉（4）一侧连接冷却箱（9），所述冷却箱（9）从左到右依次连接切断装置（10）、滚圆装置（11）、切片装置（12）与倒角装置（13），所述倒角装置（13）从上到下依次连接研磨装置（14）、腐蚀装置（15）、抛光装置（16）、清洗装置（17）与检验装置（18），所述检验装置（18）一侧连接自动包装装置（19）。
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