[实用新型]一种大尺寸晶体的生长装置有效
申请号: | 201620243625.5 | 申请日: | 2016-03-28 |
公开(公告)号: | CN205501448U | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 季泳 | 申请(专利权)人: | 贵州皓天光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B15/20;C30B17/00 |
代理公司: | 贵阳派腾阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 52110 | 代理人: | 管宝伟 |
地址: | 550081 贵州省贵阳市贵阳国家*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种大尺寸晶体的生长装置,包括炉腔,所述炉腔中安装有坩埚,所述坩埚外层还包裹有保温层,所述坩埚与保温层之间设置有加热器,所述保温层与炉腔之间还设置有一圈低频电磁搅拌器和中频加热器,所述加热器与加热器电源连接,所述低频电磁搅拌器和中频加热器均与变频电源连接。本实用新型通过增加低频电磁搅拌器和中频加热器,生产的晶体质量好、无气泡、成品率高、适用于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 晶体 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种大尺寸晶体的生长装置,包括炉腔(1),其特征在于:所述炉腔(1)中安装有坩埚(2),所述坩埚(2)外层还包裹有保温层(3),所述坩埚(2)与保温层(3)之间设置有加热器(4),所述保温层(3)与炉腔(1)之间还设置有一圈低频电磁搅拌器(5)和中频加热器(6),所述加热器(4)与加热器电源(7)连接,所述低频电磁搅拌器(5)和中频加热器(6)均与变频电源(8)连接。
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