[实用新型]过渡舱及真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201620241961.6 | 申请日： | 2016-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN205420531U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 苏清双 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种过渡舱及真空蒸镀设备，涉及真空蒸镀技术领域，以有效地除去过渡舱内壁上的杂质颗粒，降低基板蒸镀的不良率。所述过渡舱包括舱体以及设置在舱体内的充气管，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。所述真空蒸镀设备包括上述技术方案所提的过渡舱。本实用新型提供的过渡舱及真空蒸镀设备用于显示基板的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 过渡 真空 设备 | ||
【主权项】：
一种过渡舱，包括舱体以及设置在所述舱体内的充气管，该过渡舱的特征在于，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。
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