[实用新型]坩埚内盖板、坩埚以及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620222353.0 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN205473955U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚内盖板、坩埚以及蒸镀装置，涉及显示领域，能够解决了现有真空蒸镀时经常出现材料大分子溢出导致蒸发速率发生波动以及画面颗粒(Particle)不良的问题。本实用新型提供一种坩埚内盖板，所述坩埚内盖板上开设有多个通孔，所述通孔的分布满足：当所述坩埚内盖板安装至坩埚上时，所述通孔的分布区域与坩埚的喷嘴位置相错开。本实用新型适用于改进蒸镀设备。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 盖板 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种坩埚内盖板，其特征在于，所述坩埚内盖板上开设有多个通孔，所述通孔的分布满足：当所述坩埚内盖板安装至坩埚上时，所述通孔的分布区域与坩埚的喷嘴位置相错开。
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