[实用新型]具有磁控管部件的带状基材涂覆设备有效
| 申请号： | 201620206260.9 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN205473969U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | H·普罗尔;M·亨切尔;A·达斯勒;C·凯塞尔;A·穆勒 | 申请（专利权）人： | 冯·阿德纳有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种具有磁控管部件的带状基材涂覆设备，该带状基材涂覆设备具有由室壁构成的真空室及设于该真空室内的带状基材的表面处理装置，该带状基材涂覆设备包括具有圆柱形侧表面的加工热处理辊和用于输送带状基材经过该侧表面的输送装置，其中该侧表面的至少一部分周长被加工室包围，该加工室具有一排由分隔壁件界定的隔室，在至少其中一个所述隔室内设有至少一个涂覆机构，其中，所述隔室的尺寸、数量和排布是可变的，从而每个所述分隔壁件能被安置在该加工室内的多个预定位置中的一个预定位置上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 磁控管 部件 带状 基材 设备 | ||
【主权项】：
一种带状基材涂覆设备，该带状基材涂覆设备具有由室壁(14)构成的真空室(1)以及设于该真空室(1)内的带状基材的表面处理装置，该带状基材涂覆设备包括具有圆柱形侧表面的加工热处理辊(22)和用于输送所述带状基材经过所述侧表面的输送装置，其中所述侧表面的至少一部分周长被加工室包围，该加工室具有一排由分隔壁件(313)界定的隔室(32,33)，其中在至少一个所述隔室(32,33)内设有至少一个涂覆机构(314)，其特征在于，所述隔室(32,33)的尺寸、数量和布置是可变的，从而使得每个所述分隔壁件(313)能被安置在所述加工室内的多个预定位置中的一个预定位置上。
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