[实用新型]一种石英舟的定位装置有效
| 申请号： | 201620205833.6 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN205428889U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 倪鹏飞;谢贤清;乔勇;王洪波;杜林立 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 215011 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟的定位装置，包括横梁，两个横梁的相对的内侧均设置有台阶面，每个台阶面上均设有两个内卡固定块，位于同一台阶面上的两个内卡固定块的相对的外侧设有内卡配合斜面；石英舟包括放置部，放置部的底部四角处设置有支撑脚，每两个支撑脚设置于放置部的一端部，且位于放置部的同一端部的两个支撑脚的内侧均设置有支撑脚斜面；安装定位时，石英舟设置于两个横梁之间，且放置部置于支撑脚的顶部，位于放置部的同一端部的两个支撑脚跨设于与其对应的两个内卡固定块的外侧，内卡配合斜面与支撑脚斜面配合形成楔形支撑，以使支撑脚的底部与台阶面之间间隔设置；其降低导片机破碎率、卡片次数，并提高导片机利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种石英舟的定位装置，包括间隔设置于导片机上的横梁(2)，其特征在于，两个所述横梁(2)的相对的内侧均设置有台阶面(21)，每个所述台阶面(21)上均间隔设置有两个内卡固定块(4)，位于同一所述台阶面(21)上的两个所述内卡固定块(4)的相对的外侧设置有内卡配合斜面(42)；所述石英舟(1)包括用于放置硅片的放置部，所述放置部的底部四角处设置有支撑脚(11)，每两个所述支撑脚(11)设置于所述放置部的一端部，且位于所述放置部的同一端部的两个所述支撑脚(11)的内侧均设置有支撑脚斜面(12)；安装定位时，所述石英舟(1)设置于两个所述横梁(2)之间，且所述放置部置于所述支撑脚(11)的顶部，位于所述放置部的同一端部的两个所述支撑脚(11)跨设于与其对应的两个所述内卡固定块(4)的外侧，所述内卡配合斜面(42)与所述支撑脚斜面(12)配合形成楔形支撑，以使所述支撑脚(11)的底部与所述台阶面(21)之间间隔设置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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